活动背景图
某大一些的半导体设备制做客户是在长江三角型城市,重点种植晶圆和处理器。在种植全过程中,晶圆割孔和增加光泽阶段中,行成多粉磨液废水处理,日访问量排污量约50吨。可能废水处理中包含高有机酸废气浓度浮悬物、金屬铝离子及有机酸含有剂,可以直接排污会对工作环境造严重性破坏,客户紧缺制作正规专业处理基础设施。
生产废水部分及种类
研磨增加光泽液污废水 核心种类于晶圆加工生产中的有机化学自动化设备增加光泽(CMP)程序,核心被工业废气还包括:
自动隐藏颗粒状物
:二脱色硅、脱色铝等精磨颗粒状,颗粒直径在0.1-1μm,密度高达模型2000mg/L。
金属材料阳离子
:铜、铁、锌等,出自于镜面抛光垫变形及晶圆外壁金屬层,铜化合物含量约50mg/L。
有机质增加剂
:主要包括单单从表面催化表活剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性材质
:pH值冲击大,通畅在2-11互相。
补救工艺设计流程步骤
针对性废污水优点,用于“预处里+血生化+的深度处里”组合名字鑫霖环保:
上下调整池
:多样化污水水质用水量,加入强酸强碱调准pH至弱酸性。
混凝土水解
:加药PAC(缩聚氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),取除浮窗物和固体,沉降后SS取除率>90%。
促使脱色
:所采用Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料充分加剂,COD祛除率达60%。
菌物除理
:MBR膜生物技术的流化床反应器进一次降解塑料已用可挥发物,COD减至100mg/L低于。
铝离子变换
:专门用光敏树脂活性炭吸附铜阴阳离子,出水出水铜含水量<0.5mg/L。
砂滤+特异性炭过滤器
:保证有水出清清的,提高《污水渗漏基础性污染物条件的》(GB8978-1996)特级条件的。
终究结果
软件系统运营稳定的后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
回收利用率达40%,超过及格减排,年抑制生活污水减排1.10万吨。
进行处理利润约15元/吨,远降到服务行业平衡。