该晶圆加工产生厂是在华中各地，关键产生8英尺半导体行业晶圆，平均化工废水排出量约800吨。是因为产生环节中操作很多氢佛酸做好晶圆蚀刻，会导致化工废水内氟化物溶度高达独角兽200-300mg/L，远超中国排出规格（10mg/L一下）。 废渣部分及特征 废水处理方法关键源自两个关键环节： 晶圆蚀刻工艺技术 ：含高溶度氟化物（HF）、氰化钠及几瓶高价属 无机化学设备磨光（CMP）焦化废水 ：含nm级硅顆粒、设计络合剂 机械设备洁净废气 ：含异丙醇、挥发酚等化合物物 清理加工环节 选取"物理积淀+水泥混凝土积淀+深度1过滤水"两级工作设计： 1级补救 ：添加氯化钙和氢防氧化钙，达成氟化钙乳浊液，氟化物出掉率达85% 特殊加工 ：加PAC（整合氯化铝）和PAM（聚丙烯塑料酰胺），除去氢氧化铁态感染物 一级处里 ：能够多有机溶剂筛选器和活性氧炭过滤，喷水氟化物含量保持稳定在8mg/L接下来 根本机 有：pH半自动自动调节模式、斜管沉淀物池、板框压滤（活性污泥脱水烘干）。 从而实际效果 投资项目工作3年监控数据库现示： 氟化物大概浓度值：7.2mg/L（超过发展中国家规定） COD清掉率：92% 废水含水量率：≤65% 年回收公司氟化钙副成品约150吨，完成资源性化采用