该厂为8厘米晶圆工作线服务设施的超超纯水体系，每顿饭生成含硅废气150吨。废气中虽无天价属，但硅纯度高易积垢，且阻值率需拥有18MΩ·cm才可回收。原先加工处工院艺时未拥有新发布的《电子无线鑫霖环保水污染问题物减排出准则》（GB39731-2020）尤其是减排出限制值。 污水组分特色 其主要危害物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、科粒硅（粒级0.1-1μm） 特异规定要求 ：TOC<10μg/L，硼含磷量<5μg/L 水的硬度基本特征 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物价值形式非常复杂 处里新工艺设计步骤 自主创新应用"梯级膜区分+电去铁离子"女子组合工艺流程： 微滤预正确处理 ：1μm陶瓷厂家膜屏蔽广告大颗粒剂硅，通量维系80LMH 阴阳离子更换聚酯树脂 ：D201大孔树脂材料抉择性过滤硅酸分子结构 下级RO操作系统 ：第1 段收集率60%，第二名段采用了高脱硼膜部件 EDI电去阴离子 ：电压相对密度2A/m²，长期消除残余物化合物 UV紫外线消菌 ：254nm太阳光的太阳中的紫外线线标准容量40mJ/cm² 技巧工作亮点 发展常用阻硅剂（无机胺类软型物），廷迟膜环境破坏周期性3倍 EDI包块企业创新流道规划，硅我们要除率加强至99.8% 优酷云硅研究仪（衡量条件0.1-500μg/L）体现精细的控制 程序运行举措 经第二方检验： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L降到0.3μg/L 程序收旧率从原40%不断提升至68% 膜更改周期公式延伸至5年，年正常运作资金变低35%