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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体器件集成ic生产工作厂在晶圆工作进程中,应用硅烷确定硅外加生长的,汽车尾气洗滌塔制造高溶液浓度含硅污废水处置工艺 。污废水处置工艺 拥有pH波动性大(2-11)、硅分量高的优缺点,传统性处置方式方法易发生硅垢堵住难题。 污水组成成分及源 废液主要是化学成分为: 充分均匀溶解性硅酸盐 :SiO₂溶度达1000-1500mg/L 磷酸/氢脱色钠 :干洗塔酸碱性干洗液残余的 颗粒物硅 :納米级SiO₂溶液 痕量砷 :食材溶物带去 工作工艺技术程序 改革创新应用"多级采和+膜过滤水+减压蒸馏析出"加工: 一个中合 :用CaO自动调节pH至4-5,形成硅酸钙乳浊液,硅除去率60%。 下级与 :加Na₂CO₃将pH发展至9,进第一步积累累计硅,并接用镁剂除砷。 反渗透膜体系 :0.02μm瓷质膜活性炭过滤纳米级级硅粒状,通量稳固在80LMH。 MVR汽化器 :高浓高盐废气,凝结出Na₂SO₄加工品的,水工业废水处理率超90%。 然后体验 总硅从1500mg/L降到5mg/L以下的 砷含锌量从0.8mg/L调至0.01mg/L 程序无水垢启用以上2年 每月二手回收浓盐酸钠纳米线约800吨

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