某半导体器件集成ic生产工作厂在晶圆工作进程中,应用硅烷确定硅外加生长的,汽车尾气洗滌塔制造高溶液浓度含硅污废水处置工艺 。污废水处置工艺 拥有pH波动性大(2-11)、硅分量高的优缺点,传统性处置方式方法易发生硅垢堵住难题。
污水组成成分及源
废液主要是化学成分为:
充分均匀溶解性硅酸盐
:SiO₂溶度达1000-1500mg/L
磷酸/氢脱色钠
:干洗塔酸碱性干洗液残余的
颗粒物硅
:納米级SiO₂溶液
痕量砷
:食材溶物带去
工作工艺技术程序
改革创新应用"多级采和+膜过滤水+减压蒸馏析出"加工:
一个中合
:用CaO自动调节pH至4-5,形成硅酸钙乳浊液,硅除去率60%。
下级与
:加Na₂CO₃将pH发展至9,进第一步积累累计硅,并接用镁剂除砷。
反渗透膜体系
:0.02μm瓷质膜活性炭过滤纳米级级硅粒状,通量稳固在80LMH。
MVR汽化器
:高浓高盐废气,凝结出Na₂SO₄加工品的,水工业废水处理率超90%。
然后体验
总硅从1500mg/L降到5mg/L以下的
砷含锌量从0.8mg/L调至0.01mg/L
程序无水垢启用以上2年
每月二手回收浓盐酸钠纳米线约800吨