某半导体行业生产机构因晶圆除垢工步生产含氨生活污水，蓄水量200吨/天。生活污海里除高锰酸盐指数外还有氟化物和少量天价属，治理 一定的难度大。本县尾气排放原则原则追求高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理方法化学物质及源头 晶圆刷洗废水处理方法（最主要特征）：含化学需氧量200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀多种工序污废水 ：含进样器铜、镍等高价属，pH值跌涨大 CMP研磨抛光生活污水：含硅粒状及挥发酚 解决工艺设计步骤 按照"化工沉垫+膜分割+折点氯化"搭配组合技艺： 预治理 ：加药CaCl2除氟，掌握pH在7.5-8. 反渗透装置装置 ：取除0.01μm往上颗粒状物 反加入精浓 ：将挥发酚果汁至1000mg/L以内 折点氯化 ：准确把控好氯加药系统量，将氧化还原电位和转化了为惰性气体 铁离子互相交换 ：有保障天价属及格 最终能够特效 高锰酸盐指数增强＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属含量的降到探测限 水回收利用率达75% 活性污泥存在量可以减少40%