半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体材料高性价比首测生活配套涉重电镀废水——MVR硬性循坏零排工程
顶目背静
半导体芯片材料中低端首测顶目,规模性150立米米/天,是率先半导体芯片材料首测相互配套涉重工业化工废水零排顶目。首测方式的镀镍、镀铜、引线架构图洗涤会生产含镍含铜工业化工废水,工业区需要"无尾水外排",产水另一个回收于产线。
环境质量特证与突破点
生活污水以含镍作为主料(渗透压10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH浮动大(2–12),还会有光刻胶残渣的大量有机的物。测封厂运动场地紧,规范要求治疗设备土地征用小;零排暗示着浓水不可能土石方不多,一定要本地人减压蒸馏成果开环。
整理工学院艺交通路线
整体化走"分质汇集 → 预操作除杂 → 化学式沉垫除镍 → 油烟净化器 → UF+二级RO → MVR二次再循环汽化 → 冷凝剂水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,添加氢脱色钠提取Ni(OH)₂沉垫,加个塑炼钠角度收集的残留物镍(塑炼镍Ksp比氢脱色镍更小,能够镍压到0.1毫克/升以内);
积累出液经多材质过滤系统水+安保过滤系统水后进UF,再进考试内容一级RO,产水进行回产线清洁工作;
RO浓水(含盐+残渣巨资属)进MVR强行再循环法蒸馏器,强行再循环法能扛高含盐积垢,蒸馏器有带同屏在线家电清洗,不要堵;
MVR冷凝剂水反回回收利用养鱼池,化掉残液委外焚烧秸秆或身为危险废弃物处治,一个工厂无液态氨外排。
重要装置缺点证明
MVR强制性反复的相比较高级降膜化掉,反复的空气流速高、热传递面很难结镍盐/碳酸盐垢,好测封这样的"排水量不是很大但地表水杂"的画面;合二为一化撬装方式征地赔偿比老式化掉塘+多效化掉方式小60%上述;有害气体侧智能化怪物滤池,把自动调节池和污泥干化间的有害气体搜集后分解成CO₂和水,避免出现测封厂紧靠办公场所区的刺激性气味客户投诉。
整理疗效与盈利能力
出水出水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相较于《电镀锌污染破坏物产生规则》表三;全150立米米/天产水中水回用于测封产线除污,代替品等量新鲜毛肚水;危废处理(多效蒸发残液+飞灰)量比传统化"奠定+产生"基本模式减约70%。对富士康侧,测封建设项目优质市场准入卡点暴打通;